[코터디벨로퍼 데모기]

고정밀 제어를 위해 설계된 산요전기만의 특주 사양 모터를 사용하여 반도체 포토공정에서 약액 도포 시 요구되는 정밀한 속도 제어를 실현하였습니다.

중공축 샤프트에 에어 흡입 기능을 추가하여 웨이퍼를 안전하고 안정적으로 고정합니다. 이를 통해 스핀 서보모터는 약액 도포 과정에서 균일하고 정확한 속도 제어를 실현할 수 있습니다. 또한, 산요전기의 PB모터를 사용하여 노즐의 위치 제어를 정밀하게 수행하며, 다양한 작업 환경에서 안정적인 성능을 발휘합니다.

[소형모터 구동 시연 장비]

소형장치에 적용 가능한 소형 모터의 고성능 동작을 보여줍니다. 특히, 실장기의 헤드부에서 효과적으로 구동할 수 있는 실린더형 리니어 서보모터에 중점을 두고 있습니다.

당사의 강점을 살려 마운터, 디스펜서, Pick&Place 장비 등에 적용 가능한 소형 로터리 서보모터와 실린더형 리니어 서보모터를 통해 소형화와 고토크를 동시에 실현하였습니다. 소형 장비에서도 고성능을 유지하며, 공간 효율적인 솔루션을 제공합니다.

[기판검사장치 데모기]

당사만의 PB모터와 SMC100 컨트롤러의 조합으로 구성된 기판검사장치 데모기는 고속 응답성이 필요한 짧은 스트로크 움직임을 정확하게 제어하고 시스템의 안전성과 제어 능력이 강화된 구동을 보여줍니다.

클로즈드루프 스테핑모터(PB모터)를 사용하여 짧은 스트로크에서 응답성이 좋은 움직임을 중점으로 두고 있으며, 정확하고 빠른 동작을 필요로 하는 검사 장비에 최적입니다.

[체험용 데모기]

서보 모터, 클로즈드루프 스테핑모터 (PB모터), 스테핑 모터를 비교체험하며 각각의 제어적 차이를 이해할 수 있습니다.

위치 제어, 속도 제어 등 각종 제어를 다양한 모터로 실습할 수 있습니다. 이 체험을 통해 용도와 목적에 맞는 제어용 모터 선정이 가능하고 모터와 앰프, 앰프와 컨트롤러 간의 배선 방식을 배울 수 있으며, 파라미터 튜닝의 효과를 데이터와 실제 동작을 통해 체험할 수 있습니다.

적용된 제품 :

① 서보시스템 제품
② PB시스템 제품 (클로우즈드루프 스테핑 시스템 )
③ 스테핑 시스템 제품(오픈루프 스테핑 시스템)